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电去离子装置制备电子工业超纯水的技术
时间: 2020-07-24 09:28 浏览次数:
目前,电去离子装置代替混床制备超纯水的工艺流程、运行参数、经济效益、运行管理经验都表明了,电去离子制备电子工业超纯水具有产水水质稳定,无污水排放,运行费用明显降
目前,电去离子装置代替混床制备超纯水的工艺流程、运行参数、经济效益、运行管理经验都表明了,电去离子制备电子工业超纯水具有产水水质稳定,无污水排放,运行费用明显降低,同时工人的劳动强度和生产环境得到改善等优势。
目前,主流的制备超纯水通常采用反渗透+混床工艺。混床离子交换技术一直作为超纯水设备的标准工艺得到广泛应用,但由于混床需要周期性的再生,在再生过程中使用相应的化学药品(酸碱),已无法满足现代工业清洁生产和环境保护的需要。随着电去离子EDI技术的发展应用,加之逐步成熟,超纯水应用领域开始采用了电去离子技术替代混床制备超纯水。

工艺流程

原有工艺流程
该套工艺系统的产水用于微电子工业的生产,水质要求高,全套工艺设备是十多年前从美国引进,如图所示:
电去离子装置制备电子工业超纯水的技术
原水是自来水经过软化站的软化水,软化水水质如图所示:
电去离子装置制备电子工业超纯水的技术
这套工艺已经使用了十多年,实践表明系统存在以下问题:
1.反渗透产水的总阴离子含量过高;
2.初混床再生周期短;
3.酸碱消耗量大、产生大量污水、费用高;
4.工人操作条件差,劳动强度大

改进后的工艺
RO-EDI组合工艺
根据原有工艺流程存在的问题,我们设计采用了RO+EDI水处理工艺,而一级反渗透的产水总阴离子含量为43m,大于EDI的进水指标(≤25m),所以考虑将原有一级反渗透系统改为二级反渗透系统。原系统安装的反渗透膜已经使用了将近5年,脱盐率下降,系统的脱盐率由开始的98.2%下降到96.95%,虽然脱盐率有所下降,但这些膜完全可以用于二级反渗透。一级反渗透全部采用新的膜元件。考虑到碳器容易造成纯水二次污染,使终端TOC超标,而且纯水站场地空间有限,无法安装脱碳器,所以采用在一级反渗透的产水中加NAOH的方法,使水的PH值达到8.2。改后的工艺流程图如图所示:
电去离子装置制备电子工业超纯水的技术


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